Обучение Операторов вакуумно-напылительных процессов в Екатеринбурге

Удостоверение (корочки) «Оператор вакуумно-напылительных процессов» в Екатеринбурге

Оператор вакуумно-напылительных процессов должен знать и уметь:
- Технологии вакуумного напыления: работник должен быть ознакомлен с различными методами и технологиями вакуумного напыления, такими как физическое и химическое осаждение, эвтектическое напыление, сублимационное осаждение и другие. Он должен понимать принципы этих методов и уметь правильно применять их при выполнении процесса.
- Работа с оборудованием: работник должен иметь навыки работы с автоматическими и полуавтоматическими установками, которые используются при вакуумном напылении. Он должен знать, как правильно настраивать их, устанавливать параметры и следить за их работой.
- Контроль качества продукции: работник должен уметь контролировать качество получаемых кристаллов и пленок. Он должен знать методы измерения и анализа этих материалов, а также уметь выявлять и устранять возможные дефекты.
- Загрузка исходных материалов: работник должен уметь правильно загружать исходные материалы в установку, следить за их качеством и целостностью. Он должен знать, как правильно обрабатывать и хранить эти материалы, чтобы избежать их повреждения.
- Безопасность: работник должен соблюдать правила безопасности при работе с вакуумными установками. Он должен быть ознакомлен со всеми возможными опасностями, связанными с этим видом работы, и уметь предотвращать возникновение аварий и несчастных случаев.

Разряды по специальности Оператор вакуумно-напылительных процессов:
2 разряд
Характеристика работ специалиста. После обучения на оператора вакуумно-напылительных процессов специалист выполняет напыление однослойных пленок металлов и стекол на вакуумных и плазменных установках. Установка подложек и масок без точного совмещения экранов и испарителей в рабочую камеру установки. Загрузка навесок испаряемых металлов и стекол на испарители различных конструкций. Замеры толщины в процессе напыления, контроль сплошности и адгезии.

Оператор вакуумно-напылительных процессов 2 разряда. должен знать:
- назначение, устройство и правила эксплуатации обслуживаемых установок;
- назначение и принцип работы применяемых контрольно-измерительных приборов, правила пользования и обращения с ними;
- назначение процесса откачки;
- способы и методы контроля степени вакуума;
- режимы испарения и осаждения распыляемого материала.

3 разряд
Характеристика работ специалиста после курса операторов вакуумно-напылительных процессов. Напыление многослойных пленочных микросхем на вакуумных и плазменных установках. Установка подложек, масок, экранов и испарителей в рабочую камеру вакуумной установки. Загрузка навесок испаряемых материалов (золото, алюминий, нихром и др.) на испарители различных конструкций. Замена мишеней на установках магнетронного напыления. Контроль электрических параметров процесса напыления; определение качества напыляемых слоев и толщины полученных пленок с помощью микроскопа.

Оператор вакуумно-напылительных процессов 3 р. должен знать:
- устройство, принцип действия и способы подналадки обслуживаемого оборудования;
- устройство универсальных и специальных приспособлений, контрольно-измерительных приборов;
- назначение процесса откачки;
- режимы испарения и осаждения распыляемого материала;
- способы и методы контроля степени вакуума;
- основные свойства и характеристики испаряемых материалов;
- основные законы электротехники и вакуумной техники.

Примеры работ специалиста с удостоверением оператора вакуумно-напылительных процессов.
1. Кристаллические элементы кварцевых резонаторов - напыление.
2. Приборы квантовые - напыление трехслойных зеркал.
3. Подложки, пленки, ситалловые спутники - напыление алюминия, золота, нихрома, индия, ванадия, никеля, молибдена с контролем качества и толщины напыленного слоя.
4. Резисторы - напыление на ситалловую подложку через маску.

Оператор вакуумно-напылительных процессов 4 разряда
Характеристика работ специалиста. Напыление одного и нескольких слоев металлов на пластины, а также пленки на вакуумных установках с термическим распылением. Обслуживание вакуумных установок различных типов, в том числе с магнетронным способом напыления. Определение неисправностей в работе установок и принятие мер по их устранению. Корректировка режимов напыления по результатам контрольного процесса. Регистрация и поддержание режимов осаждения с помощью контрольно-измерительной аппаратуры. Определение качества напыленных слоев и толщины полученных пленок с помощью микроскопа.

Оператор вакуумно-напылительных процессов 4 разряда должен знать:
- устройство вакуумных установок различных моделей;
- кинематику, электрические и вакуумные схемы;
- правила наладки и проверки на точность обслуживаемого оборудования;
- устройство, назначение и условия применения контрольно-измерительных инструментов и приборов;
- конструкцию универсальных и специальных приспособлений;
- способы отыскания течей;
- основные свойства пленок, используемых для получения токоведущих, резистивных и изоляционных элементов микросхем;
- основы физического процесса получения тонких пленок;
- основные виды брака и причины его возникновения.

Примеры работ
1. Конденсаторы тонкопленочные - напыление меди, нихрома, многоокиси кремния.
2. Микросхемы (с малой степенью интеграции), ВЧ транзисторы - напыление на пластину алюминия, золота, нихрома, молибдена, систем: молибден-алюминий, титан-алюминий, вольфрам-алюминий, вольфрам-алюминий-вольфрам.
3. Микроструктуры многослойные пленочные - получение методом напыления в вакууме с контролем качества и толщины пленок.
4. Пластины с заданным рельефом - получение методом термического испарения трехслойного выпрямляющего контакта.
5. Платы анодные для люминесцентных индикаторов - напыление нескольких слоев металла (хром, никель, медь).
6. Пленки (триацетатные, ПЭТФ) - напыление алюминия.
7. Приборы квантовые - напыление пятислойных зеркал.
8. Фотошаблоны металлизированные - напыление хрома.

5 разряд
Характеристика работ специалиста с удостоверением оператора вакуумно-напылительных процессов 5 разряда. Напыление различными способами (термическое испарение, катодное распыление, электронно-лучевое и магнетронное напыление) однослойных и многослойных пленочных микроструктур для изделий с субмикронными размерами или с повышенной степенью интеграции с выбором оптимальных режимов напыления в пределах допусков, указанных в технологической документации. Обслуживание установок с программным управлением. Наблюдение за режимами процесса. Работа с измерительной аппаратурой с целью регистрации и поддержания режимов осаждения пленок. Сравнительный контроль качества просветляющих пленок по эталону.

Оператор вакуумно-напылительных процессов 5 разряда должен знать:
- электрические и вакуумные схемы, способы проверки на точность различных моделей вакуумных напылительных установок;
- конструкцию обслуживаемого оборудования;
- правила определения режимов работы оборудования для получения металлических, резистивных пленок;
- правила настройки и регулирования контрольно-измерительных инструментов и приборов;
- электрофизические свойства взаимодействия полупроводник - металл, металл - металл;
- основы электротехники и порядок работы вакуумной техники.

Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ
1. Диски для видиконов - двух-, трехслойное напыление.
2. Линзы из стекла К-8 оптической толщины лямбда/4 - нанесение одного слоя MgFe2 (просветление).
3. МДП-структуры - изготовление молибденового затвора.
4. Пластины C ч As - напыление Ag с подслоем Cr.
5. Пластины стеклянные - напыление маскирующих, кварцевых покрытий.
6. Пластины полупроводниковые (диодные матрицы, СВЧ - транзисторы, БИС, СБИС, ЗУ, стабилитроны) - одно- или двухслойное напыление различными способами.
7. Пленка полистирольная или стирофлексная, конденсаторная бумага - напыление различных металлов на вакуумной установке.
8. Пленки полупроводниковые и контактные площадки - напыление на монокристаллические подложки германия, кремния, арсенида галлия.
9. Подложки кварцевые - нанесение 15 слоев равной оптической толщины лямбда/4 (зеркало с коэффициентом отражения
10. Приборы квантовые - напыление семи-, одиннадцатислойных зеркал.

6 разряд
Характеристика работ специалиста с корочкой оператора вакуумно-напылительных процессов. Напыление металлических, резистивных и диэлектрических пленок на установках различных типов. Самостоятельный выбор способа нанесения пленок (термическое осаждение в вакууме, катодное распыление, осаждение из газовой фазы, электронно-лучевое и магнетронное напыление и т.д.). Отработка режимов напыления.

Оператор вакуумно-напылительных процессов 6 разряда. должен знать:
- конструкцию, способы и правила проверки на точность различных типов оборудования для напыления микропленочных структур;
- методы определения способа нанесения пленок и последовательности процесса;
- правила определения режимов получения пленочных микроструктур;
- методы контроля параметров пленок;
- физику процесса получения пленочных микроструктур различными способами.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ
1. Микросхемы пленочные, полупроводниковые приборы - изготовление опытных образцов на установках различных типов с двухслойной или многослойной металлизацией.
2. Пластины кремния различных типов - сплавление с одновременным нанесением алюминия.
3. Пластины со структурами - многослойное напыление на установках различных типов.
4. Покрытия оптические - просветление трехслойное двухстороннее.
5. Фильтры интерференционные - нанесение двух двенадцатислойных зеркал с промежуточным слоем лямбда/2.

7 разряд
Характеристика работ специалиста. Напыление металлических и окисных покрытий с заданной оптической плотностью и дефектностью. Напыление тугоплавких металлов с образованием силицидов. Составление программ проведения процесса напыления с использованием ЭВМ. Замер поверхностного сопротивления силицидов и пленок металла. Определение отражающей способности пленки и коэффициента запыления рельефа пленкой. Отработка режимов напыления пленки с получением указанных параметров (толщина, состав, коэффициенты запыления и отражения), настройка и калибровка по эталонам приборов для измерения заданных параметров. Сборка и разборка внутрикамерного устройства установок и их чистка. Отыскание течей вакуумных систем и принятие мер по их ликвидации. Оценка качества высокого вакуума.

Оператор вакуумно-напылительных процессов 7 р. должен знать:
- устройство и принцип работы обслуживаемого оборудования;
- принцип работы откачных средств и способы измерения вакуума;
- наладку и настройку контрольно-измерительных приборов;
- способы получения проводящих, резистивных, барьерных, диэлектрических слоев и диодов Шоттки;
- влияние режимов напыления на электрофизические свойства пленок.

Для получения удостоверения оператора вакуумно-напылительных процессов требуется среднее профессиональное образование.