Обучение Операторов диффузионных процессов в Реутове

Удостоверение (корочки) «Оператор диффузионных процессов» в Реутове

Разряды по специальности оператор диффузионных процессов :
2 разряд
Характеристика работ оператора диффузионных процессов после обучения. Ведение процессов диффузии примесей (бора, фосфора) в кремний и создание защитных покрытий химико-термическим методом (под руководством рабочего высшей квалификации). Окисление пластин кремния в потоке газов и паров воды. Загрузка и выгрузка пластин кремния. Измерение температуры рабочей зоны установки и наблюдение за другими режимами с помощью контрольно-измерительных приборов и термопар. Изготовление шлифов на пластинах кремния и определение по ним глубины диффузии. Вжигание металлизированных контактов (алюминий, золото) в кремний. Взвешивание диффузанта и его загрузка.

Закончив курсы оператор диффузионных процессов должен знать:
- наименование, назначение важнейших частей и принцип действия установок для проведения процессов окисления;
- назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов, ротаметров, контактных термометров;
- методы определения толщины окислов по интерференционным полосам в сравнении с таблицей;
- основные свойства полупроводниковых материалов (германий, кремний) и материалов, применяемых для легирования (бор, фосфор и их соединения);
-основы теории получения р-п переходов (диодов и триодов); принцип действия установок измерения удельного сопротивления четырехзондовым методом.

Примеры работ специалиста с удостоверением оператора диффузионных процессов:
1. Пластины кремния, германия - термообработка перед фотолитографией.
2. Пленки окисные - получение методом контролируемого низкотемпературного окисления моносилана кислородом в среде инертного газа.
3. Подложки - насыщение бором.

3 разряд
Характеристика работ специалиста с корочкой оператора диффузионных процессов. Ведение процессов окисления, диффузии примесей в один из видов полупроводникового материала на налаженном оборудовании определенного типа. Измерение толщины окисла и дрейфовой области кремниевых пластин. Изготовление косых и сферических шлифов, выявление переходов, измерение глубины р-п перехода поверхностного сопротивления и концентрации примесей. Контроль режима диффузионного процесса. Загрузка и выгрузка пластин с помощью автоматического загрузчика. Контроль качества пластин после диффузии и окисления. Комплектация (формирование) партий эпитаксиальных структур.

Оператор диффузионных процессов должен знать:
- устройство и способы подналадки обслуживаемых оборудования и установок;
- методы измерения температуры в рабочей зоне установки;
- степени осушки газа;
- свойства газов, применяемых материалов;
- основные законы электротехники и вакуумной техники в пределах выполняемых работ;
- влияние различных факторов на параметры диффузионных слоев;
- устройство приборов для контроля процесса;
- методы измерения поверхностного сопротивления;
- методы контроля толщины дрейфовой области.

Примеры работ
1. Диффузия золота.
2. Стекло боросиликатное - диффузия бора.
3. Стекла растворимые - диффузия сурьмы.
4. Структуры кремниевые - геттерирование с помощью пленки SiO2 с одновременной диффузией никеля.

4 разряд
Характеристика работ специалиста с удостоверением оператора диффузионных процессов. Окисление и диффузия примесей в германий, кремний и арсенид галлия с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов. Отжиг ионно-легированных слоев. Ведение процесса дрейфа ионов лития в пластины кремния. Одновременное проведение двух процессов окисления или диффузии. Дозирование легирующих элементов. Подготовка газораспределительного пульта к работе. Сборка и наладка отдельных узлов газовой системы (определение точки росы и содержания кислорода в технологических газах). Наблюдение за температурой и другими режимами и регулирование их. Определение неисправностей в работе оборудования. Измерение электрических параметров р-п переходов, резисторов и характеристик микросхем.

Оператор диффузионных процессов должен знать:
- устройство установок с высокочастотным нагревом, установок дрейфа, водородной, вакуумной и силитовых печей; устройство, назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов (термопар, гальванометров, осциллографов, вакуумметров и др.);
- методы измерения температурного профиля диффузионной печи;
- основные свойства полупроводниковых материалов (германий, арсенид галлия, кремний);
- свойства газов (водород, азот, кислород);
- основные свойства диффузантов;
- режимы процесса;
- способы и методы контроля;
- элементарный расчет параметров диффузионных слоев;
- основные свойства оксидных пленок, р-п, п-п переходов;
- методы их получения и контроля.

Примеры работ
1. Диффузия мышьяка, сурьмы.
2. Диффузия фосфора из треххлористого фосфора, оксихлорена и из легированных пленок.
3. Диффузия бора из нитрида бора и трибромида бора.
4. Диффузия бора и золота, фосфора и золота (одновременное проведение процесса).
5. Кремний - окисление в парах HCl.
6. Пластины кремния - термическое окисление в печах типа СДО

5 разряд
Характеристика работ специалиста. Закончив курсы обучения оператор диффузионных процессов осуществляет ведение сложных процессов диффузии и окисления в диффузионных печах различных типов (в том числе с программным управлением) с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов. Составление программ проведения процесса. Введение легирующих присадок в кремний, германий, арсенид галлия. Обслуживание печей непрерывного действия, водородной, вакуумной установок. Измерение электропараметров БИС, СБИС и транзисторных структур. Проведение элементарного расчета параметров диффузионных слоев. Анализ экспериментальных данных по результатам измерений параметров диффузионных слоев, окисных пленок. Контроль и корректировка режимов технологических процессов диффузии, окисления, отжига ионно-легированных слоев. Сборка, вакуумирование и отпайка кварцевых ампул с мышьяком, сурьмой, бором и их соединениями в качестве лигатуры. Сборка газовой системы и проверка ее герметичности. Определение неисправностей в работе оборудования и их устранение.

Закончив курсы оператор диффузионных процессов должен знать:
- электрические и газовые схемы обслуживаемого оборудования, правила его наладки на заданный режим;
- правила настройки и регулирования приборов для контроля процесса;
- очистительную систему для газов, поступающих в установку;
- правила определения режимов работы;
- влияние характеристик диффузионных слоев на параметры получаемых приборов.
Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ
1. Диффузия цинка в парах мышьяка или фосфора в тройные соединения.
2. Пластины кремния - диффузия бора, фосфора, мышьяка в печах с программным управлением типа СДО-125/3-15.
3. Пластины кремния - окисление при повышенном давлении; создание скрытых слоев; легирование сурьмой и мышьяком в печах с программным управлением.
4. Пластины кремния - создание подзатворного диэлектрика и контроль его параметров.

6 разряд
Характеристика работ специалиста после получения удостоверения (корочки) оператора диффузионных процессов. Ведение сложных процессов диффузии, окисления с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов. Обслуживание печей и установок любого типа, в т.ч. и с программным управлением. Обработка экспериментальных данных, построение графиков, таблиц по статистическим данным. Проведение расчета концентрационного профиля, поверхностной концентрации, типа проводимости слоев. Самостоятельное задание режимов, самостоятельная работа на полярископе и лазерном элипсометре, определение плотности поверхностных состояний по вольт-емкостным характеристикам при изготовлении канальных БИС. Расчет и экспериментальное определение профиля распределения примеси. Работы на автоматических диффузионных установках - налаживание, корректировка режимов в процессе работы и контроль.

Оператор диффузионных процессов должен знать:
- конструкцию, способы и правила проверки на точность оборудования и устройств различных типов для проведения процесса диффузии;
- теорию процессов диффузии и окисления;
- влияние различных параметров на характеристики диффузионных слоев;
- способы и методы определения годности переходов;
- физико-химические свойства применяемых материалов;
- расчеты, связанные с проведением процессов диффузии.

Требуется среднее профессиональное образование.

7 разряд
Характеристика работ специалиста. Закончив курсы обучения и повышения квалификации оператор диффузионных процессов выполняет ведение сложных высокотемпературных процессов диффузии на оборудовании и оборудовании с микропроцессорным программным управлением с применением различных типов диффузантов. Ведение процесса окисления кремниевых пластин пирогенным способом. Расчет необходимых пропорций кислорода и водорода в их смеси. Одновременное проведение трех процессов окисления или диффузии. Выбор способа формирования диэлектрика в зависимости от назначения и требований нему. Получение р-п переходов и контроль их вольт-амперных характеристик на измерителе Л2-56. Сбор и обработка информации с помощью компьютера. Анализ причин возникновения брака на операциях высокотемпературных обработок и принятие мер по его устранению.

Оператор диффузионных процессов должен знать:
- устройство и принцип работы обслуживаемого оборудования;
- назначение и условия применения контрольно-измерительного оборудования (спектрофотометры MPVSD, 'Suzfscan', ЛЭФ-3М);
- назначение окисных пленок и диффузионных слоев и требования к ним;
- факторы, определяющие скорость роста окислов;
- механизмы диффузии в полупроводниках;
- виды брака на термодиффузионных операциях, причины его возникновения и способы устранения;
- способы получения р-п переходов и методы определения их годности.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ
1. Изолирующий окисел - пирогенное окисление.
2. Диффузия фосфора в поликремний - легирование затвора.